功功能需求： 先進傳感器與智能檢測實驗系統包含1個原位電學冷熱臺、1個控溫模塊、1個水冷機、1個電學測試系統（雙通道）、1個靜態配氣模塊，1個氣氛及濕度控制模塊，可以提供1路背景氣、2路目標氣、1路快切氣路、2路濕度控制氣路，可進行精確的電學測試、溫度控制和氣氛及濕度控制，且后續具有極高的可擴展性，可以通過增加外圍模塊，實現光敏、光敏氣敏、光電等多維傳感器的研究測試。 I.原位電學冷熱臺 1.原位電學冷熱臺配置兩路反應氣接口和一路真空接口，可通過卡套、快插與配氣系統及真空泵相連接； 2.Ag熱臺，尺寸33 mm*32 mm，含水冷快速接頭，上下一體化水冷，配置水冷機一臺進行循環水冷保護 2.原位電學冷熱臺內置探針座及夾具：4套； 3.配置4個BNC或者三同軸連接器，支持雙通道測試； 4.原位電學冷熱臺體積：≤200mL； 5.物鏡工作距離≤10mm，石英觀察窗口，直徑≥30mm； 6.腔室體積：≤150mm*150mm*40mm； II.控溫模塊 1.控溫范圍：≥室溫~400℃連續可調；分辨率/穩定度：0.2 ℃； 2.控制方式：通過觸摸屏控溫，支持設置≥40 段程序控溫，觸摸屏同時支持環境溫度、濕度和壓力等參數實時顯示 III.電學測試系統 1.電學測試系統采用雙源表配置，支持雙通道測試，四線或兩線測量； 2.電流范圍：200pA~200 mA；電阻測量范圍：≥1Ω~10GΩ；電壓范圍：≥±200 mV~±5 V； 3.測試模式：I-t，R-t，I-V等；支持多信號如溫度、濕度、壓力等信號與電學信號同步采集； 4.軟件支持多種靈敏度格式，包括Ra/Rg、Rg/Ra、|Ra-Rg|/Ra自動轉換； IV.靜態配氣模塊 ★1.配置靜態配氣模塊1個，體積≥1L，與小腔體配合使用，支持靜態配氣，支持液體蒸發溫度≥室溫~170℃，內置有高精度溫濕度傳感器1個 2.配置液體蒸發配氣小軟件1套，內含集成的液體種類≥60種，支持自動添加新增液體 V.氣氛及濕度控制模塊 1.支持為傳感器提供精準的氣氛和濕度氛圍，支持直接使用各類氣體氣源（如 NOx、H2S、CO 等）的動態配氣。控濕部分既可單獨進行濕度控制，也可用于配置不同濕度的各種氣體。 2.氣路通道包括1路背景氣路、1路快切氣路、2路目標氣體氣路；2路濕氣氣路（干氣和濕氣）； 3.背景氣路：滿量程≥ 1000 sccm，控制范圍 2%~100%； 4.快切氣路：滿量程≥ 1000 sccm，控制范圍 2%~100%； 5.目標氣路1：滿量程≤ 100 sccm，控制范圍 2%~100%； 6.目標氣路2：滿量程≤ 10 sccm，控制范圍 2%~100%； 7.干氣氣路：滿量程≥ 1000 sccm，控制范圍 2%~100%； 8.濕氣氣路：滿量程≥ 1000 sccm，控制范圍 2%~100%； 9.濕度控制：范圍 2%RH~90%RH；精度：≥±1%RH，穩定度 ≥0.5%RH（RT 標定），濕度模塊內置有高精度溫濕度傳感器，支持自調節，支持對氣體控濕 10.提供標準傳感器接口和微型傳感器測量腔：體積≤ 60mL，動態氣氛切換快； 11.配置全自動控制軟件，支持多段氣體流程配氣，支持濃度和流量兩種模式，支持預混，內置氣體參數≥160種。 12.配置便攜式氣體傳感器分析模塊，藍牙傳輸，安卓手機APP實時檢測分析數據（電阻和濃度均可輸出），電阻測試范圍≥10Ω-200MΩ，加熱范圍≥0-100mA，支持傳感器測量與標定。 VI.其他 1.小型磁控濺射機要求，直流濺射電源，最大功率≤1000W，濺射真空≤10Pa；樣品臺可旋轉，含機械泵。 2.小型涂布機要求：涂布厚度：0.005-5MM（濕膜），刮涂精度：0.003mm,0.001mm線棒，室溫~160 度（可恒溫）。 3.測試系統配備防靜電重型實驗臺兩套：高密度聚合板，橡膠腳杯，鋼管，3層帶燈架及雙抽屜柜，150*60*160mm。 |
晉公網安備號：140110430070001
